真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng),目前,該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。
該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠(yuǎn)程控制接口等,只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng),該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
真空系統(tǒng)自啟動后,全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中,真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內(nèi)上下波動,其波動范圍可根據(jù)用戶要求進行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達到最佳流程工藝。
第一臺真空泵啟動后達不到設(shè)定所需真空時第二臺真空泵啟動至達到設(shè)定的真空值。當(dāng)達到所需設(shè)定值后第一臺真空泵停止接著第二臺真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統(tǒng)可在無人操作情況下對系統(tǒng)進行自動控制,在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
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